Material

PROSES PENDEPOSISIAN LAPISAN TIPIS ALUMINIUM PADASUBSTRAT SILIKON DENGAN SISTEM SPUTTERING


Oleh :

Slamet Widodo

Pusat Penelitian Elektronika dan Telekomunikasi – LIPI

Jl. Cisitu No. 21/154 D Bandung 40135

Telp. (022) 2504661 Fax. (022) 2504659

Abstrak

Sistem Sputtering adalah metoda deposisi material pada substrat yang dilakukan pada ruangan hampa udara. Proses ini, banyak diaplikasikan pada sistim interkoneksi sirkit mikroelektronika atau pembuatan metalisasi (konduktor), lapisan dielektrik (insulator), pada devais semikonduktor, atau untuk pembuatan sistim kontak, konduktor, resistor maupun kapasitor. Pada proses sputtering ini beberapa parameter yang berpengaruh pada kecepatan pendeposisian antara lain pengaruh waktu, tekanan gas Argon, dan daya. Sistem sputtering ini digunakan untuk pelapisan (pendeposisian) metal dan non metal. Pelapisan metal disebut proses metalisasi dioperasikan dengan DC Sputtering, sedangkan pelapisan non metal dengan RF Sputtering. Penelitian pelapisan metal dan non metal ini dengan alat sputtering ARC-12M. Dalam tulisan ini diamati beberapa parameter yang berpengaruh pada kecepatan pendeposisian dalam proses sputtering antara lain pengaruh waktu, tekanan gas Argon, dan daya. Juga dilakukan pengamatan kecepatan pendeposisian Aluminium (Al) sebagai proses metalisasi untuk sistem kontak.

Lanjut Baca>>

About barifbrave

Bismillah, Rising Star Moslem Legend, Amin

Discussion

No comments yet.

Leave a Reply

Fill in your details below or click an icon to log in:

WordPress.com Logo

You are commenting using your WordPress.com account. Log Out / Change )

Twitter picture

You are commenting using your Twitter account. Log Out / Change )

Facebook photo

You are commenting using your Facebook account. Log Out / Change )

Google+ photo

You are commenting using your Google+ account. Log Out / Change )

Connecting to %s

Kategori Tulisan

Arsip per Bulan

Masukkan alamat e-mail Anda untuk berlangganan blog ini dan menerima pemberitahuan tulisan-tulisan baru melalui e-mail.

Join 1,985 other followers

%d bloggers like this: